Miniaturni optični-vlakenski senzorji prostih radikalov za nadzor plazemskih procesov 

Šifra projekta:            L2-4487-0796-22

Trajanje projekta:      01.10.2022 – 30.09.2025

Vodja projekta: prof. ddr. Denis Đonlagić

Povzetek projekta: Plazemske tehnologije so se uveljavile kot ključne omogočitvene tehnologije  v Slovenski strategiji pametne specializacije (S4). Plazemske tehnologije pogosto predstavljajo benigno ekološko alternativo postopkom mokre kemije za dosego želene površine. Za razliko od tehnike mokre kemije, ki uporablja nevarna topila ter proizvaja odpadne kemikalije, plazemske tehnologije uporabljajo suhe snovi in običajno ne proizvajajo nobenih odpadnih produktov. Po drugi strani pa v plazemski tehnologiji pogostokrat prihaja do zdrsov v procesnih parametrih zaradi nepredvidljivih učinkov, ki omejujejo njeno uporabnost. Avtomatizirane industrijske procese, ki uporabljajo principe plazemske tehnologije, je težko narediti ”pametne”, t.i. samoregulacijske, prav zaradi že omenjenih zdrsov parametrov v plazmi. Prav zaradi tega je preoblikovanje podjetij po konceptu Industrije 4.0 možno le z nadzorovanjem plazemskih parametrov v realnem času, torej tekom same obdelave materialov in produktov. Trenutno je opažen primanjkljaj senzorjev za merjenje plazemskih parametrov. Glavna cilja tega projekta sta razvoj in preverjanje inovativnih senzorjev, katere bo možno integrirati v industrijske plazemske reaktorje. Razvoj senzorjev bo potekal v sodelovanju dveh komplementarnih skupin – Univerze v Mariboru (UM) in Inštituta Jožefa Stefana v Ljubljani (IJS), preverjeni pa bodo v velikem industrijskem plazemskem reaktorju v podjetju Elvez, Višnja gora. Skupina na Univerzi v Mariboru ima široke izkušnje v razvoju optičnih senzorjev, skupina na Inštitutu Jožefa Štefana pa spada med najbolj inovativne raziskovalne skupine na področju plazemske tehnologije. Obe skupini svoje inovativne rešitve redno zaščitijo s patentom, v zadnjih 10 letih so obema skupinama skupno priznali 29 EU in/ali  US patentov. Raziskovalna skupina podjetja Elvez ima mnoge industrijske reaktorje s prostornino več kubičnih metrov. Ti se redno uporabljajo za masovno proizvodnjo z uporabo tehnologij plazemske aktivacije, plazemskega čiščenja in plazemsko pogojene kemijske depozicije iz parne faze (PECVD).