{"id":170,"date":"2022-02-03T13:53:51","date_gmt":"2022-02-03T12:53:51","guid":{"rendered":"http:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/?p=170"},"modified":"2026-03-13T14:34:53","modified_gmt":"2026-03-13T13:34:53","slug":"inovativni-senzorji-za-sprotno-merjenje-hitrosti-nanosa-v-pecvd-napravah","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/inovativni-senzorji-za-sprotno-merjenje-hitrosti-nanosa-v-pecvd-napravah\/","title":{"rendered":"Inovativni senzorji za sprotno merjenje hitrosti nanosa v PECVD napravah"},"content":{"rendered":"
\n
\n
\n
\n
\n
\n
\"\"<\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
\n
\"\"<\/a><\/figure>\n<\/div>\n\n\n\n
\n
\"\"<\/figure>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n\n\n\n

Multidisciplinarna ekipa bo s strokovnim znanjem senzorjev, optike in plazemskih tehnologij opravljala raziskave potrebne za razvoj prototipa kompaktnega in zanesljivega senzorja za spremljanje hitrosti nana\u0161anja v PECVD sistemih, zlasti za nanos tankih slojev silicijevega dioksida na polimerne substrate. Prototip bo validiran v realnem okolju (industrijski reaktor). Senzor bo bolj\u0161i v primerjavis kremenovo mikrotehtnico (QCM), uporabniku prijazen in veliko cenej\u0161i, zato bo primeren za uporabo v industriji, zlasti v avtomobilski industriji. Znanje, pridobljeno v okviru projekta, bo za\u0161\u010diteno s patentno prijavo. \u010ce bo projekt uspe\u0161en, bo to omogo\u010dilo kon\u010dno komercializacijo inovativnih senzorjev primernih za prodajo.<\/p>\n\n\n\n

\"\"
Napr\u0161evalni sistem<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

PECVD  tehnika se je v preteklih desetletjih intenzivno prou\u010devala. \u0160e posebej zanimivo je nana\u0161anje tanke za\u0161\u010ditne prevleke na povr\u0161ine polimernih substratov. Primeren prekurzor, kot npr. heksametildisiloksan (v nadaljevanju: HMDSO), vpu\u0161\u010damo v vakuumsko komoro, kjer so pritrjeni substrati.  \u010ce residualna atmosfera vsebuje dovolj vodne pare, lahko ta pomaga pri tvorbi silikatne plasti na povr\u0161ini polimera. V nasprotnem primeru je potrebno isto\u010dasno vpu\u0161\u010dati kisik. V plinski plazmi, ki jo generiramo v vakuumski komori, se prekurzor disociira in \u0161ibko ionizira. Koli\u010dina ogljika v nanosu je odvisna od razelektritvenih pogojev. V primeru, da je atmosfera skoraj brez kisika, nastane polimerna obloga podobna polimetildisiloksanu. V nasprotnem primeru, ko je veliko kisika, pa se deponira tanka plast iz kompaktnega silicijevega dioksida. Tehnika je posebej primerna za nana\u0161anje tankih filmov na toplotno ob\u010dutljive predmete, saj je gostota mo\u010di razelektritve nizka, pogosto blizu kW\/m3 (le en Watt na liter), zato so toplotni u\u010dinki skoraj zanemarljivi.<\/p>\n\n\n\n

\"\"
Napr\u0161evalni sistem – top<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

Evropska industrija se soo\u010da z mo\u010dno konkurenco v dr\u017eavah s cenej\u0161o delovno silo. Dolgoro\u010dni obstoj EU proizvajalcev je mogo\u010d  le z optimizacijo razpolo\u017eljivih tehnologij in razvojem primernej\u0161ih\/inovativnih re\u0161itev. V tem primeru je potrebno hitrost nana\u0161anja za\u0161\u010ditnih plasti izbolj\u0161ati z optimizacijo PECVD parametrov. Ena izmed mo\u017enih re\u0161itev bi lahko bilo pove\u010danje tlaka (in mo\u010di) ob nana\u0161anju, toda to ni izvedljivo, ker vodi k nastanku pra\u0161ne plazme, kar povzro\u010da slabo kakovost nanosa. Druga re\u0161itev pa je optimizacija razelektritvene konfiguracije. To pa je izvedljivo le,  \u010de se hitrost nana\u0161anja v PECVD procesu stalno meri z enostavno in zanesljivo tehniko.<\/p>\n\n\n\n

V sklopu projekta bo razvit senzor, ki bo neposredno uporaben v velikih PECVD reaktorjih. Senzor mora biti uporabniku prijazen, poceni in zanesljiv. Za dosego teh ciljev bomo izvedli obse\u017eno znanstveno delo, kjer bomo na\u0161o hipotezo najprej potrdili v eksperimentalnih reaktorjih, kjer so vsi parametri znani in jih je mo\u017eno enostavno spreminjati, nato pa v velikem industrijskem reaktorju.<\/p>\n\n\n\n

Znanstveni preboj tega projektnega predloga je popolnoma nov pristop k merjenju hitrosti nana\u0161anja silikatnih prevlek med delovanjem PECVD reaktorja. Pokazali bomo, da je hitrost nana\u0161anja mogo\u010de izmeriti ob uporabi refleksije laserskega \u017earka na koncu opti\u010dnega vlakna s pomo\u010djo natan\u010dnega detektorja s posebej izdelano namensko elektroniko. Inovativna metoda in naprava bosta najprej za\u0161\u010diteni z mednarodno patentno prijavo; znanstveni vidiki pa bodo nato objavljeni v vrhunskih revijah na podro\u010dju senzorjev in plazemske znanosti.<\/p>\n\n\n\n

Project management:<\/p>\n\n\n\n

DS1: Priprava konceptualne zasnove.<\/p>\n\n\n\n

DS2: Koncept bomo preverili z uporabo eksperimentalnega reaktorja z magnetronskim napr\u0161evanjem.<\/p>\n\n\n\n

DS3: Signalno razlo\u010devanje: Komercialni instrumenti bodo nadome\u0161\u010deni z namensko elektroniko.<\/p>\n\n\n\n

DS4: Meritve in testiranje z opti\u010dnim vlakenskim senzorjem v majhnem plazemskem reaktorju ob vpu\u0161\u010danju HMDSO-ja in kisika.<\/p>\n\n\n\n

DS5: Ve\u010d to\u010dkovno testiranje z najmanj 10 senzorji znotraj industrijske komore.<\/p>\n\n\n\n

DS6: Karakterizacija nane\u0161enih filmov z razli\u010dnimi tehnikami: SIMS, XPS, AFM, SEM.<\/p>\n\n\n\n

Trajanje projekta: 1.7.2019 – 30.6.2022                                                                                                  Projekt je financiran s strani:ARRSLogo 2016<\/p>\n\n\n\n

Vodja projekta: red. prof. ddr. Denis \u0110onlagi\u0107<\/p>\n\n\n\n

Participating research organizations and researchers:<\/p>\n\n\n\n

University of Maribor, Faculty of Electrical Engineering and Computer Science:<\/strong><\/p>\n\n\n\n

 – full prof. ddr. Denis \u0110onlagi\u0107 (SICRIS<\/a>)<\/p>\n\n\n\n

 – asist. dr. Matej Njegovec (SICRIS<\/a>)<\/p>\n\n\n\n

 – asist. prof. dr. Simon Pevec (SICRIS<\/a>)<\/p>\n\n\n\n

 – asist. dr. Vedran Budinski (SICRIS<\/a>)<\/p>\n\n\n\n

Institute “Jo\u017eef Stefan”:<\/strong><\/p>\n\n\n\n

– full prof. dr. Miran Mozeti\u010d (SICRIS<\/a>)<\/p>\n\n\n\n

ELVEZ, proizvodnja kabelske konfekcije in predelava plasti\u010dnih mas, d.o.o.<\/strong><\/p>\n\n\n\n

NELA, razvojni center za elektroindustrijo in elektroniko, d.o.o.<\/strong><\/p>\n\n\n\n

Beneficiary\/Co-funding org.:<\/em><\/strong><\/p>\n\n\n\n

Iskra d.d. PE kondenzatorji (Semi\u010d)<\/strong><\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Multidisciplinarna ekipa bo s strokovnim znanjem senzorjev, optike in plazemskih tehnologij opravljala raziskave potrebne za razvoj prototipa kompaktnega in zanesljivega senzorja za spremljanje hitrosti nana\u0161anja v PECVD sistemih, zlasti za nanos tankih slojev silicijevega dioksida na polimerne substrate. Prototip bo Read More …<\/a><\/p>","protected":false},"author":7,"featured_media":716,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":[],"categories":[6],"tags":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/170"}],"collection":[{"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/users\/7"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=170"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/170\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":597,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/170\/revisions\/597"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media\/716"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=170"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=170"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/au.feri.um.si\/leoss\/en\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=170"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}